Устройство и принцип датчиков давления

Устройство и принцип датчиков давления Анемометр

1 Конструкция и физическая основа функционирования

Функционирование чувствительного
элемента микромеханического датчика
давления основывается на тензорезистивном
эффекте.

Определение: Тензорезистивный
эффект – изменение удельного
электросопротивления твёрдого проводника
(металла,
полупроводника)
в результате его деформации. Величина
относительного изменения компонент
тензора электросопротивления

связана с тензором
деформации

через тензор четвёртого ранга

Определение: На практике пользуются
понятием тензочувствительности


относительное изменение длины

образца под действием приложенной
нагрузки в определённом направлении,


относительное изменение удельного
электросопротивления вдоль этого
направления. В металлах

порядка единицы, в полупроводниках
(например, в Ge и Si) в десятки и сотни раз
больше.

Тензорезистивный эффект
связан с изменением межатомных
расстояний при деформации, что влечёт
за собой изменение структуры энергетических
зон кристалла. Последнее обусловливает
изменение концентрации носителей тока
(электронов проводимости, дырок), их
эффективной массы, перераспределение
их между энергетическими максимумами
в зоне проводимости и минимумами в
валентной зоне. Кроме того, деформация
влияет на процессы рассеяния носителей
(появление новых дефектов, изменение
фононного спектра). Тензорезистивный
эффект применяется в
тензодатчиках
сопротивлений, служащих для измерения
деформаций.

Почти все фирмы, производя­щие датчики
давления строят первичный пре­образователь
«давление-напряжение» по традицион­ной
схеме моста Уинстона, имеющей несколько
недо­статков:

Эти недостатки сподвигнули фирму
Motorola ве­сти активный поиск аль­тернативного
решения, ко­торый и увенчался
разра­боткой принципиально но­вого
решения, которое впоследствии было
запа­тентовано, и носит торго­вую
марку X-ducer. Элемент X-ducer (смотри рис.
4.15), названный так из-за х-образной формы
преобразователя, представляет собой
кремни­евую диафрагму, на которую
методом ионной имплан­тации внедрена
х-образная тензорезистивная структу­ра.
Элемент развивает на выходе напряжение,
прямо пропорциональное приложенному
давлению и имеет очень высокие показатели
линейности, повторяемос­ти,
воспроизводимости, чувствительности
и отношения сигнал/шум. Одна пара выводов
служит для подачи напряжения питания,
а со второй снимается разность потенциалов,
линейно за висящая от напряжения питания
(пропорциональный выход) и приложенного
давления (усилия).

Датчик реализован с
использованием технологии MEMS,
что позволило получить точный, качественный
аналоговый выходной сигнал пропорциональный
прилагаемому давлению.

Датчик
давления – устройство, физические
параметры которого изменяются в
зависимости от давления измеряемой
среды (жидкости, газы, пар). В датчиках
давление измеряемой среды преобразуется
в унифицированный пневматический,
электрический сигналы или цифровой
код.

Для
примера рассмотрим схему преобразователя
«Сапфир-22ДИ» (рис. 1.10), предназначенного
для измерения избыточного давления.
Преобразователь состоит из измерительного
блока и электронного устройства.

Рис.
1.10. Преобразователь «Сапфир-22ДИ»

Чувствительным
элементом (ЧЭ) преобразовательного
блока является мембранный полупроводниковый
преобразователь 3, размещенный внутри
основания 9. ЧЭ выполняется на основе
пластины из монокристаллического
сапфира с кремниевыми пленочными
тензорезисторами (структура КНС –
кремний на сапфире), прочно соединенной
с металлической мембраной. Внутренняя
полость 4 тензопреобразователя заполнена
кремнийорганической жидкостью и отделена
от измеряемой среды металлической
гофрированной мембраной 6, приваренной
по наружному контуру к основанию 9.
Измеряемое давление подается в камеру
фланца 5. Между основанием 9 и фланцем
помещена уплотняющая прокладка 8. Полость
10 сообщена с окружающей атмосферой.

Устройство и принцип датчиков давления

змеряемое
давление воздействует на мембрану 6 и
через жидкость передается на мембрану
тензопреобразователя 3, вызывая ее
прогиб и соответствующее изменение
сопротивления тензорезисторов,
соединенных в мостовую схему. Электрический
сигнал по проводам через герметический
вывод 2 поступает в электронный блок 1,
который содержит корректоры для плавной
подстройки диапазона и нуля выходного
сигнала. При измерении абсолютного
давления полость 10 откачивается и
герметизируется. Как при измерении
избыточного давления, так и абсолютного
давления в данной конструкции измеряемое
давление воздействует через жидкость
непосредственно на мембрану
тензопреобразователя.

Выходной
сигнал преобразователей аналоговый и
может быть в диапазонах 0 – 5, 0 – 20, 4 –
20 мА. Предел допускаемой основной
погрешности преобразователей составляет
0,25 и 0,5 %.

Датчики
моделей 1110 – 1173 охватывают максимальный
верхний предел измерения от 0,04 кПа до
100 МПа.

Для
примера на рис. 1.11 представлена конструкция
датчиков избыточного давления моделей
1131, 1141, датчиков разрежения моделей
1231, 1241, датчиков давления-разрежения
моделей 1331, 1341.

Сенсорный
блок датчика состоит из корпуса 1,
рычажного тензопреобразователя 2,
измерительной мембраны 3, жесткого

центра со штоком
4, электронного преобразователя 5, штуцера
6.

В
датчиках моделей 1131, 1141 измеряемое
избыточное давление Р
воздействует на мембрану 3 и преобразуется
в усилие на жестком центре, которое
через шток 4 передается на рычаг
тензопреобразователя 2. Перемещение
конца рычага вызывает деформацию
измерительной мембраны тензопреобразователя.
На измерительной мембране размещены
тензорезисторы. Тензорезисторы соединены
в мостовую схему. Деформация измерительной
мембраны вызывает изменение сопротивления
тензорезисторов и разбаланс мостовой
схемы.

Устройство и принцип датчиков давления

Рис.
1.11. Датчик Метран 100: модели 1131, 1141;

1231,
1241; 1331, 1341

Электрический
сигнал, образующийся при разбалансе
мостовой схемы, подается в электронный
преобразователь 5, который преобразует
электрический сигнал от тензопреобразователя
в стандартный токовый выходной сигнал.

В
датчиках разрежения (модели 1231, 1241)
давление разрежения перемещает мембрану
3 в противоположную сторону.

Датчики
с HART-протоколом могут передать информацию
об измеряемой величине в цифровом виде
по двухпроводной линии связи вместе с
сигналом постоянного тока 4-20 мА. Этот
цифровой сигнал может приниматься и
обрабатываться любым устройством,
поддерживающим протокол HART.

Таким
образом, по двухпроводной связи передается
два типа сигналов – аналоговый сигнал
4-20 мА и цифровой сигнал на базе протокола
HART, который накладывается на аналоговый
выходной сигнал датчика, не оказывая
на него влияния.

В
2007 г. на рынок было выведено новое
поколение датчиков давления – Метран-150.
Во многом
этому способствовало тесное сотрудничество
Промышленной Группы “Метран” с компанией
Emerson Process Management – крупнейшим мировым
производителем средств автоматизации.
Для датчика Метран-150 Инженерным центром
были разработаны новые преобразователи
давления с чувствительными элементами
на основе емкостной ячейки (для фланцевых
моделей) и пьезорезистивного сенсора
кремний-на-кремнии (для штуцерных
моделей).

Диапазоны
измеряемых давлений: минимальный
0–0,025 кПа; максимальный 0–68 МПа.

Выходные
сигналы: 0–5 мА; 4-20 мА с HART– протоколом.

Основная
приведенная погрешность до ± 0,075 %; опции
до ± 0,2 %; ± 0,5 %

В
зависимости от измеряемого давления
датчики имеют следующие коды исполнения:
A
– абсолютное; G
– избыточное; D
– разность давлений.

Схема
измерительного блока датчиков Метран-150
фланцевого исполнения (CD, CG), копланарного
исполнения (CDR, CGR, L) представлена на рис.
1.12а.

Измерительный
блок датчиков этих моделей состоит из
корпуса 1 и емкостной измерительной
ячейки Rosemount 2. Емкостная ячейка изолирована
механически, электрически и
термически
от измеряемой и окружающей сред.
Измеряемое давление передается через
разделительные мембраны 3 и разделительную
жидкость 4 к измерительной мембране 5,
расположенной в центре емкостной ячейки.
Воздействие давления вызывает изменение
положения измерительной мембраны 5, что
приводит к появлению разности емкостей
между измерительной мембраной и
пластинами конденсатора 6, расположенным
по обеим сторонам от измерительной
мембраны. Разность емкостей измеряется
АЦП и преобразуется электронным
преобразователем в выходной сигнал.

а
б

Устройство и принцип датчиков давления

Рис.
1.12. Схема измерительного блока датчик
Метран-150: а
– фланцевое, копланарное и гидростатическое
исполнение; б –
штуцерное исполнение

Про анемометры:  32 Блог В вашей квартире порядок? уточнение

Датчики
Метран-150 штуцерного исполнения
представлены на рис. 1.12б.
В
измерительных блоках моделей TG, TGR, TA ,
ТАR используется тензорезистивный
тензомодуль на кремниевой подложке.
Чувствительным элементом тензомодуля
является пластина 1 из кремния с пленочными
тензорезисторами (структура КНК –
кремний на кремнии). Давление через
разделительную мембрану 3 и разделительную
жидкость 2 передается на чувствительный
элемент тензомодуля.

Воздействие
давления вызывает изменение положения
чувствительного элемента, при этом
изменяется электрическое сопротивление
его тензорезисторов, что приводит к
разбалансу мостовой схемы. Электрический
сигнал, образующийся при разбалансе
мостовой схемы, измеряется АЦП и подается
в электронный преобразователь, который
преобразует это изменение в выходной
сигнал. В моделях 150ТА и 150ТАR полость
над чувствительным элементом вакууммирована
и герметизирована.

Устройство и принцип датчиков давления

рименение
в датчиках Метран-150 новых чувствительных
элементов позволило установить основную
приведенную погрешность не более ±
0,075 % в пределах перенастройки до 10:1 и
длительную стабильность “нуля”.
Существенно, по сравнению с датчиками
Метран-100, повышен предел перегрузки
для низкопредельных моделей.

HART-протокол
использует
принцип частотной модуляции для обмена
данными на скорости 1200 Бод. Схема,
поясняющая работу приборов по
HART-протоколу,
представлена на рис.1.13. Для передачи
логической «1» HART
использует один полный период частоты
1200 Гц, а для передачи логического «0» –
два неполных периода 2200 Гц.

Из
рис. 1.13 видно, что HART
составляющая накладывается на токовую
петлю 4-20 мА аналогового сигнала. Так
как среднее значение синусоиды за период
равно «0», то HART
сигнал никак не влияет на аналоговый
сигнал 4-20 мА.

HART-протокол
построен по принципу «главный –
подчиненный», то есть полевое устройство
отвечает по запросу системы.

Протокол
допускает наличие двух управляющих
устройств (управляющая система и
коммуникатор).

Существует
два режима работы датчиков, поддерживающих
обмен данными по HART-протоколу.

Режим
передачи цифровой информации одновременно
с аналоговым сигналом.
В этом режиме датчик работает в аналоговых
АСУ ТП, а обмен по HART-протоколу
осуществляется посредством HART
коммуникатора или компьютера. При этом
можно на расстоянии до 3000 м осуществлять
полную настройку и конфигурирование
датчика. Теперь оператору нет необходимости
обходить все датчики на предприятии,
он может их настроить непосредственно
со своего рабочего места.

Устройство и принцип датчиков давления

Устройство и принцип датчиков давления

Рис.
1.13. Принцип обмена данными по HART-протоколу

В
многоточечном режиме датчик
передает и получает информацию только
в цифровом виде.
Аналоговый
выход автоматически фиксируется на
минимальном значении (питание устройства
– 4 мА) и не содержит информации об
измеряемой величине. Информация о
переменных процесса считывается по
HART
– про-токолу.

Классификация и принцип работы

Многие датчики давления функционируют на преобразовании давления в движение механической части. Кроме механических элементов (трубчатые пружины, мембраны) для замеров используются тепловые и электрические системы. Электронные элементы дают возможность осуществить производство датчиков давления на электронных элементах.

Датчик давления состоит из

Этот тип датчиков считается самым точным в работе, которая не имеет большой зависимости от изменений температуры. Элементом точной чувствительности действует оптический волновод. Давление в волоконно-оптических приборах определяется путем поляризации света, прошедшего по элементу чувствительности, и колебаниям амплитуды.

Оптоэлектронные датчики давления

Датчики давления состоит из нескольких слоев, через которые проходит свет. Один слой меняет свойства от величины давления среды. Меняются 2 параметра: величина преломления и размер слоя. Методы изображены на рисунках.

Устройство и принцип датчиков давления

При изменении свойств будет изменяться характеристика света, проходящего через слои. Фотоэлемент производит регистрацию изменений. Преимуществом оптоэлектронных приборов стала высокая точность.

Датчики легко определяют давление, имеют повышенное разрешение, чувствительность, стабильны к действию температуры. Перспективность оптоэлектронных приборов обуславливается работой на интерференции света, использованием интерферометра для замера малых перемещений. Основные составляющие элементы датчика – кристалл оптического анализатора с диафрагмой, фотодиод и детектор. Детектор составляют три светодиода.

К 2-м фотодиодам прикреплены оптические фильтры, которые имеют отличия по толщине. Фильтры состоят из кремниевых зеркал, имеющих отражение от лицевой части поверхности, которые имеют слой оксида кремния. Поверхность напылена слоем алюминия малой толщины.

Световой преобразователь подобен емкостному датчику. Его диафрагма смоделирована способом травления, которая покрыта металлическим тонким слоем. Стеклянная пластина снизу покрыта металлическим слоем. Между подложкой и стеклом есть промежуток, образованный двумя прокладками.

Два металлических слоя образуют интерферометр с изменяемым воздушным промежутком. В его состав вошли: зеркало на стекле стационарного вида и меняющее положение зеркало на мембране.

Устройство и принцип датчиков давления

На подобной основе изготавливают чувствительные датчики размером 0,55 мм. Они легко проходят через ушко иглы.

Оптическое волокно взаимосвязано с сенсором. В нем с помощью управления микропроцессора подключается монохроматический свет, который вводится в волокно. Делается замер интенсивности обратного света, по калибровке рассчитывается наружное давление и результат показывается на экране. Сенсоры используют в медицине для проверки давления внутри черепа, измерения кровяного давления в артериях легких. Другими методами в легкие добраться невозможно.

Магнитные

Магнитные датчики давления еще называют индуктивными. Элементом чувствительности служит Е-пластина, в центре расположена катушка, и проводящая мембрана. Она расположена на малом расстоянии от конца пластины. При подсоединении обмотки образуется магнитный поток, он идет через пластину, промежуток воздуха и мембрану.

Устройство и принцип датчиков давления

Магнитная проницаемость воздуха в зазоре в 1000 раз слабее мембраны и пластины. Малое изменение параметра зазора приводит к значительному изменению индуктивности.

При воздействии давления мембрана изгибается, сопротивление катушки меняется. Преобразователь переводит изменение в сигнал тока. Измерительный рабочий элемент преобразователя сделан по схеме моста, обмотка включена в плечо. АЦП подает сигнал от элемента измерения в виде сигнала от давления.

Емкостные

Устройство и принцип датчиков давления

Для определения очень небольших изменений давления приборы наиболее применимы и эффективны. Они дают возможность произвести замеры избыточного давления в различной среде. На предприятиях при выполнении технологических процессов, в которых задействованы системы воздушного и гидравлического оборудования, в насосах, компрессорах, на станках емкостные датчики нашли широкое применение. Датчик емкостного вида имеет конструкцию, которая имеет стойкость к вибрациям, скачкам температуры, защищена от химической и электромагнитной среды.

Ртутные

Также простая конструкция прибора. Действует по закону о сообщающихся сосудах. На одну емкость давит давление, которое нужно измерить. По величине другого сосуда – определяется давление.

Пьезоэлектрические

Элементом чувствительности в этом датчике служит пьезоэлемент. Это вещество, создающее электрический сигнал во время деформации. Такое свойство называется прямым пьезоэффектом. В измеряемой области находится пьезоэлемент, который образует ток, прямо зависящий от значения давления. Сигнал в датчике из пьезоматериала образуется только при деформации. При неизменном давлении нет деформации, поэтому датчик годен только для проведения замеров среды с быстро изменяемым давлением.

Если давление не будет изменяться, то не будет деформации, пьезоэлектрик не сгенерирует сигнал.

Устройство и принцип датчиков давления

Пьезоэлектрики нашли использование в первичных преобразователях потока водяных вихревых счетчиков, и других сред. Их устанавливают парами в трубу с проходом в несколько сотен мм за предметом обтекания. Фиксируют вихри. Количество и частота вихрей прямо зависят от скорости потока и расхода по объему.

Пьезорезонансные датчики давления

В отличие от вышеописанного вида датчика здесь применяется обратный пьезоэффект, то есть, форма материала пьезоэлемента изменяется от тока подачи. Применяется резонатор в виде пластины из пьезоматериала. На пластину с двух сторон нанесены электроды. На них подключается по очереди напряжение питания с разным знаком, пластина производит изгиб в обе стороны в зависимости от полярности поданного напряжения и частоты.

Про анемометры:  Счетчики газа бытовые как выбрать - устройство, критерии оценки, краткий обзор

Если воздействовать на пластину силой, чувствительной мембраной к давлению, то резонатор изменит частоту колебаний. Частота резонатора укажет значение давления на мембрану, которая оказывает давление на резонатор.

Устройство и принцип датчиков давления

На рисунке изображен пьезорезонансный датчик с абсолютным давлением, который сделан герметичной камерой 1. Она достигается корпусом 2, основанием 6, мембраной 10. Мембрана крепится на электронную сварку к корпусу. Держатели закреплены на основании перемычками. Силочувствительный резонатор удерживает держатель.

Мембрана 10 давит на втулку 13 и шарик 6, который закреплен в держателе. Шарик давит на чувствительный резонатор 5. Проводка закреплена на основании 6, необходима для слияния резонаторов с генераторами. Сигнал на выходе абсолютного давления образуется по схеме путем разности генераторных частот. Датчик находится в активном термостате 18 с неизменной температурой 40 градусов. Давления для измерения поступает через штуцер 12.

Резистивные датчики давления

Другим названием этот датчик называется тензорезистор. Это элемент, который меняет собственное сопротивление при деформации. Такие тензорезисторы монтируют на мембрану, которая чувствительна к изменяющемуся давлению. В результате при приложении силы на мембрану происходит ее изгиб, из-за этого изгибаются тензорезисторы, которые на ней закреплены. На тензорезисторах меняется сопротивление и значение тока цепи.

Устройство и принцип датчиков давления

Растяжение элементов из проводников на каждом тензорезисторе ведет к увеличению длины и снижению сечения. В итоге сопротивление повышается. При сжатии процесс происходит наоборот. Изменения сопротивления незначительные, поэтому для обработки сигнала применяются усилители. Деформация переделывается в изменение сопротивления проводника или полупроводника, а затем в сигнал тока.

Тензорезисторы выполнены в виде проводящего зигзагообразного элемента, или из полупроводника, который расположен на гибкой подложке, приклеенной к мембране. Подложка сделана из слюды, полимерной пленки или бумаги. Элемент проводника – из полупроводника, тонкой проволоки или фольги, напыленных на металл в вакуумном состоянии. Чувствительный элемент соединяют с цепью измерения выводами из проволоки или площадками контактов. Тензорезисторы чаще имеют размер площади до 10 мм 2 . Они более подходят для замера давления, веса, силы нажатия.

В автоматизированных системах системах широко используются датчики давления. Они позволяют преобразовать механическое воздействие в электрический сигнал.

По принципу действия различают датчики:

Как устроен реостатный датчик давления

Принципиальная схема датчика показана на рисунке.

Устройство и принцип датчиков давления

Жидкость под давлением воздействует на мембрану 1, деформация которой через рычажный механизм передается ползуну 2. Перемещение ползуна вызывает изменение сопротивлений ветвей ce и de, подключенных по мостовой измерительной схеме.

Пьезоэлектрические датчики давления

Схема пьезоэлектрического датчика давления показана на рисунке.

Устройство и принцип датчиков давления

Давление жидкости воздействует на мембрану, которая деформируется. Диафрагма сжимает кристалл, это приводит к возникновению разности потенциалов на его плоскостях.

Сегодня для цели измерения давления в разных областях промышленности используют отнюдь не только ртутные барометры и анероиды, но и различные датчики, отличающиеся как принципом действия, так и достоинствами и недостатками, свойственными каждому типу таких датчиков. Современная электроника позволяет реализовывать датчики давления непосредственно на электрической, электронной базе.

Так что же мы понимаем под словосочетанием «электрический датчик давления»? Какие бывают электрические датчики давления? Как они устроены, и какими обладают особенностями? И наконец, какой датчик давления выбрать, чтобы он максимально подошел для той или иной цели? В этом и разберемся по ходу данной статьи.

Устройство и принцип датчиков давления

Прежде всего определимся с самим термином. Датчиком давления называется устройство, выходные параметры которого зависят от измеряемого давления. В качестве исследуемой среды может выступать пар, жидкость или какой-нибудь газ, в зависимости от сферы применения конкретного датчика.

Современным системам необходимы точные приборы данного типа, как важные составные части систем автоматизации энергетической, нефтяной, газовой, пищевой и многих других промышленностей. Жизненно необходимы миниатюрные датчики давления в медицине.

Любой электрический датчик давления включает в себя: чувствительный элемент, служащий для передачи воздействия на первичный преобразователь, схему обработки сигнала и корпус. Принципиально электрические датчики давления подразделяются на:

Резистивный или тензорезистивный датчик давления — это устройство, чувствительный элемент которого изменяет свое электрическое сопротивление под действием деформирующей нагрузки. Тензорезисторы устанавливаются на чувствительную мембрану, которая под давлением изгибается, и изгибает прикрепленные к ней тензорезисторы. Сопротивление тензорезисторов меняется, и соответственно меняется величина тока цепи первичного преобразователя.

Устройство и принцип датчиков давления

Растяжение проводящих элементов каждого тензорезистора приводит к росту длины и уменьшению поперечного сечения, в результате сопротивление растет. При сжатии — наоборот. Относительные изменения сопротивления измеряются тысячными долями, поэтому в схемах обработки сигнала используются прецизионные усилители с АЦП. Так деформация преобразуется в изменение электрического сопротивления полупроводника или проводника, и далее — в сигнал напряжения.

Устройство и принцип датчиков давления

Тензорезисторы обычно представляют собой зигзагообразный проводящий или полупроводящий элемент, нанесенный на гибкую подложку, которая приклеивается к мембране. Подложка как правило — из слюды, бумаги или полимерной пленки, а проводящий элемент — из фольги, тонкой проволоки или полупроводника, напыленного в вакууме на металл. Соединение чувствительного элемента тензорезистора с измерительной цепью осуществляется при помощи контактных площадок или проволочных выводов. Сами тензорезисторы имеют обычно площадь от 2 до 10 кв.мм.

Тензорезистивые датчики отлично подойдут для оценки уровня давления, силы нажатия и измерения веса.

Следующий тип электрического датчика давления — пьезоэлектрический . В качестве чувствительного элемента здесь выступает пьезоэлемент. Пьезоэлемент на основе пьезоэлектрика генерирует электрический сигнал при деформации, это так называемый прямой пьезоэффект. Пьезоэлемент помещается в измеряемую среду, и тогда ток в цепи преобразователя будет по величине пропорционален изменению давления в этой среде.

Поскольку для возникновения пьезоэффекта требуется именно изменение давления, а не постоянное давление, то данный тип датчиков давления годится лишь для измерения давления в динамике. Если же давление будет постоянным, то процесса деформации пьезоэлемента не произойдет, и ток не будет пьезоэлектриком сгенерирован.

Устройство и принцип датчиков давления

Применяются пьезоэлектрические датчики давления, например, в первичных преобразователях скорости потока вихревых счетчиков воды, пара, газа и других однородных сред. Такие датчики монтируют попарно в трубопровод с условным проходом от десятков до сотен миллиметров за телом обтекания и так регистрируют вихри, частота и количество которых оказываются пропорциональны объемному расходу и скорости потока.

Далее рассмотрим пьезорезонансные датчики давления . В пьезорезонансных датчиках давления работает обратный пьезоэффект, при котором пьезоэлектрик деформируется под действием подаваемого напряжения, и чем больше напряжение, тем сильнее деформация. В основе датчика — резонатор в форме пластины из пьезоэлектрика, с двух сторон которой нанесены электроды.

При подаче на электроды переменного напряжения, материал пластины вибрирует, изгибаясь то в одну, то в другую сторону, и частота вибрации равна частоте подаваемого напряжения. Однако если теперь пластину деформировать, подействовав на нее внешней силой, например посредством чувствительной к давлению мембраны, то частота свободных колебаний резонатора изменится.

Так, собственная частота резонатора отразит величину давления на мембрану, которая давит на резонатор, приводя к изменению частоты. В качестве примера можно рассмотреть датчик абсолютного давления на базе пьезорезонанса.

Устройство и принцип датчиков давления

В камеру 1 через штуцер 12 передается измеряемое давление. Камера 1 отделена мембраной от чувствительной измерительной части прибора. Корпус 2, основание 6 и мембрана 10 соединены герметично между собой, образуя вторую герметичную камеру. Во второй герметичной камере на основании 6 закреплены держатели 9 и 4, второй из которых прикреплен к основанию 6 при помощи перемычки 3. Держатель 4 служит для фиксации чувствительного резонатора 5. Опорный резонатор 8 зафиксирован держателем 9.

Про анемометры:  Государственное бюджетное учреждение здравоохранения «Городская поликлиника №1города Новороссийска Министерства здравоохранения Краснодарского края»

Под действием измеряемого давления, мембрана 10 давит через втулку 13 на шарик 14, который также закреплен в держателе 4. Шарик 14 давит в свою очередь на чувствительный резонатор 5. Провода 7, закрепленные в основании 6, соединяют резонаторы 8 и 5 с генераторами 16 и 17 соответственно. Для формирования сигнала, пропорционального величине абсолютного давления служит схема 15, которая из разности частот резонаторов формирует выходной сигнал. Сам датчик размещен в активном термостате 18, в котором поддерживается постоянная температура 40 °C.

Устройство и принцип датчиков давления

Одними из наиболее простых являются емкостные датчики давления . Два плоских электрода и зазор между ними образуют конденсатор. Один из электродов — мембрана, на которую действует измеряемое давление, что и приводит к изменению толщины зазора между, по сути, обкладками конденсатора. Общеизвестно, что емкость плоского конденсатора изменяется с изменением величины зазора при постоянной площади обкладок, поэтому для фиксации даже очень малых изменений давления емкостные датчики оказываются весьма и весьма эффективными.

Устройство и принцип датчиков давления

Малогабаритные емкостные датчики давления позволяют измерять избыточное давление в жидкостях, газах, в паре. В различных технологических процессах с применением гидравлических и пневматических систем, в компрессорах, в насосах, на станках — во множестве промышленных задач оказываются полезными емкостные датчики давления. Конструкция датчика устойчива к перепадам температур и вибрациям, невосприимчива к электромагнитным помехам и агрессивным условиям среды.

Устройство и принцип датчиков давления

Еще один тип электрических датчиков давления, отдаленно похожих на емкостные — индуктивные или магнитные датчики . Проводящая мембрана, чувствительная к давлению, расположена на некотором расстоянии от тонкого Ш — образного магнитопровода, на среднем керне которого намотана катушка. Между мембраной и магнитопроводом выставлен определенный воздушный зазор.

Когда на катушку подается напряжение, ток в ней создает магнитный поток, который проходит как через сам магнитопровод, так и через воздушный зазор и через мембрану, замыкаясь. Поскольку магнитная проницаемость в зазоре приблизительно в 1000 раз меньше, чем в магнитопроводе и в мембране, то даже небольшое изменение толщины зазора приводит к ощутимому изменению индуктивности цепи.

Под действием измеряемого давления чувствительная мембрана претерпевает изгиб, и комплексное сопротивление обмотки изменяется. Преобразователь конвертирует это изменение в электрический сигнал. Измерительная часть преобразователя выполнена по мостовой схеме, где в одно из плеч включена обмотка датчика. Посредством АЦП сигнал с измерительной части переводится в пропорциональный измеряемому давлению электрический сигнал.

Устройство и принцип датчиков давления

Последний тип датчиков давления, который мы рассмотрим, — оптоэлектронные датчики . Они довольно просто детектируют давление, имеют высокую разрешающую способность, обладают высокой чувствительностью, и термостабильны. Работающие на основе интерференции света, использующие для измерения малых перемещений интерферометр Фабри-Перо, эти датчики особо перспективны. Кристалл оптического преобразователя с диафрагмой, светодиод, и детектор, состоящий из трех фотодиодов — вот основные части такого датчика.

К двум фотодиодам пристроены оптические фильтры Фаби-Перо, имеющие небольшую разницу в толщине. Эти фильтры представляют собой кремниевые зеркала с отражением от передней поверхности, покрытые слоем оксида кремния, на поверхность которой нанесен тонкий слой алюминия.

Оптический преобразователь похож на емкостной датчик давления, диафрагма, сформированная методом травления в подложке из монокристаллического кремния, покрыта тонким слоем металла. На нижнюю сторону стеклянной пластины также нанесено металлическое покрытие. Между стеклянной пластиной и кремниевой подложкой существует зазор шириной w, получаемый при помощи двух прокладок.

Два слоя металла формируют интерферометр Фабии-Перо с переменным воздушным зазором w, в состав которого входят: подвижное зеркало, расположенное на мембране, меняющее свое положение при изменении давления, и параллельное ему стационарное полупрозрачное зеркало на стеклянной пластине.

Устройство и принцип датчиков давления

Примерно на этой основе фирма FISO Technologies производит микроскопические чувствительные датчики давления, диаметром всего 0,55 мм, легко проходящие сквозь игольное ушко. При помощи катетера мини-датчик вводится в исследуемый объем, внутри которого и измеряется давление.

Оптическое волокно связано с интеллектуальным сенсором, в котором под управлением микропроцессора включается источник монохроматического света, вводимого в волокно, измеряется интенсивность обратно отраженного светового потока, по калибровочным данным вычисляется внешнее давление на датчик и выводится на дисплей. В медицине, например, такие сенсоры применяют для контроля внутричерепного давления, для измерений давления крови в легочных артериях, куда иным способом невозможно добраться.

Если Вам понравилась эта статья, поделитесь ссылкой на неё в социальных сетях. Это сильно поможет развитию нашего сайта!

Просто пройдите по ссылке и подключитесь к каналу.

1 Базовый корпус, кристалл

Рассмотрим подробнее устройство и
принцип работы датчиков давления.
Кремниевые датчики давления фирмы
Motorola изготавливают двух видов:
дифференциальные и абсолютные. Базовые
корпуса датчиков абсолютного и
дифференциального давлений идентичны
(смотри рис. 4.12).

Рассмотрим устройство базового корпуса
подробнее (смотри рис. 4.13).

Основным элементом датчика
давления является кристалл,
на котором расположена кремниевая
диафрагма с чувствительным элементом
– имплантированной тензорезистивной
цепочкой – X-ducer. Разница между кристаллами
датчиков дифференциального и абсолютного
давления заключается в том, что у
последнего нет отверстия в нижней –
герметизирующей кремниевой пластине
и полость, сформированная углублением,
вытравленным в верхней пластине, и
нижней пластиной содержит вакуум –
опорное давление (смотри рис. 4.14).
Кремниевый гель изолирует поверхность
кристалла и соединительные проводники
от повреждения твердыми частицами,
которые могут оказаться в среде,
передающей давление на диафрагму,

Кристалл датчика давления серии МРХ
расположен на кремниевом кристаллодержателе,
который приклеен к корпусу датчика.
Внутренняя полость заполнена
кремнийорганической жидкостью –
компаундом. Пластмассовый корпус закрыт
крышкой из нержавеющей стали. В корпус
впресованы внешние выводы, которые с
помощью золотых проволочек соединяются
с рамкой выводов 1-4 кристалла датчика
давления.

Датчики давления. Виды и работа. Как выбрать и применение

Датчики давления являются устройством, выдающим сигналы на выходе, зависящие от давления измеряемой среды. Сегодня не обходятся без точных датчиков определения давления. Они применяются в автоматизированных системах всех отраслей промышленности.

Тензометрический датчик

Принципиальная схема тензометрического датчика для измерения давления показана на рисунке.

Устройство и принцип датчиков давления

Тензометрические датчики 1 наклеены на корпус по двум перпендикулярным направлениям. Корпус под действием давления деформируется, эта деформация вызывает изменение сопротивления проволочных тензодатчиков, в результате происходит разбаланс мостовой схемы, в которую включены датчики.

Показания датчиков тарируются с помощью эталонного манометра.

Емкостной датчик

Принципиальная схема емкостного датчика показана на рисунке.

Устройство и принцип датчиков давления

Металлическая диафрагма установлена между, установленных параллельно конденсаторов. На диафрагме закреплены электроды, питание к которым подведено от генератора высокой частоты.

Жидкость подводится в сильфон, который под действием давления деформирует диафрагму. Деформация диафргамы вызывает изменение емкости конденсаторов.

Индуктивный датчик давления

Схема индуктивного датчика давления показана на рисунке.

Устройство и принцип датчиков давления

До действием давления мембрана 1 деформируется, и увлекает за собой прикрепленный сердечник 2. при этом происходит изменение индуктивной связи между обмотками дифференциально-транформаторного преобразователя. Это изменение регистрируется измерительной аппаратурой.

Оцените статью
Анемометры
Добавить комментарий